SF6凭借优异的绝缘性、化学稳定性和强清洁能力，在半导体芯片封装的TSV清洗、高可靠性器件密封、引线键合前表面处理等环节有明确应用，可提升封装良率和器件性能。但因高温室效应潜能值，行业正推进替代气体研...
