SF6是半导体芯片制造刻蚀工艺的核心气体，其纯度需符合SEMI 5N级以上标准。若纯度不达标，水分、金属、碳氢化合物等杂质会引发刻蚀缺陷、载流子迁移率下降、漏电流增加等问题，导致芯片良率降低、功耗上升...
