六氟化硫（SF6）在激光技术中具有多场景核心应用：作为准分子激光工作介质，与氩气混合产生193nm深紫外激光用于7nm及以下制程半导体光刻；作为红外吸收介质实现ppb级泄漏的激光光谱检测；作为缓冲气体...
