镁合金冶炼中SF6尾气含未反应SF6及HF、SO2等有毒成分,需严格处理。主流方法包括吸附法(回收SF6,回收率95%以上)、吸收法(去除酸性气体,效率99.5%)、催化分解法(深度降解SF6,效率9...
去除SF6气体中分解产物的核心技术包括吸附法、催化分解法、低温冷凝法、膜分离法及联合工艺。吸附法依托多孔材料物理/化学吸附极性产物,应用最广泛;催化分解法针对难吸附氟硫化物,通过催化剂转化为易处理产物...