六氟化硫（SF6）作为铝电解添加剂，通过高温分解产生活性氟物种吸附阳极表面，有效抑制阳极效应；同时优化电解质物化性能，降低初晶温度、提高电导率，提升电流效率、降低吨铝能耗；还可减少杂质迁移，改善铝液纯...

六氟化硫（SF6）在等离子蚀刻中通过等离子体分解产生高活性F自由基和SFx离子，结合化学蚀刻（F与材料反应生成挥发性氟化物）与物理蚀刻（离子轰击增强方向性），实现对硅、金属等材料的高精度、高选择性蚀刻...