SF6提纯方法主要包括精馏法、吸附法、膜分离法、低温液化法及联合工艺。精馏法适用于大规模工业提纯,可获99.995%以上纯度;吸附法用于脱除微量杂质;膜分离法适合小规模现场处理;低温液化法为粗提纯工艺...