半导体芯片制造中，SF6尾气副产物包括未反应SF6及分解产生的HF、SO2F2等。通过低温冷凝、变压吸附、膜分离等技术可提纯回收SF6循环利用，副产物经精馏、催化转化等工艺可资源化生成电子级氢氟酸、锂...

铝电解中SF6尾气的处理设备主要包括活性炭吸附塔、低温冷凝回收装置、催化分解反应器、膜分离系统及组合工艺设备。这些设备通过物理吸附、低温液化、催化分解、膜分离等技术路径，实现SF6的高效回收或无害化处...

去除SF6气体中分解产物的核心技术包括吸附法、催化分解法、低温冷凝法、膜分离法及联合工艺。吸附法依托多孔材料物理/化学吸附极性产物，应用最广泛；催化分解法针对难吸附氟硫化物，通过催化剂转化为易处理产物...