六氟化硫（SF6）在电弧高温下分解为低氟硫化物自由基及硫、氟原子，弧后冷却阶段大部分产物复合为SF6，剩余活性产物与设备内H2O、O2等杂质反应生成SOF2、SO2F2、HF等有毒腐蚀性产物，这些产物...

SF6气体处理涵盖回收净化、分解销毁等环节：回收净化时会产生固体颗粒物、废吸附剂、精馏馏分及水解生成的HF、SO2等酸性副产物；分解销毁通过高温、等离子体等工艺生成HF、SO2、S2F10等气态副产物...