在半导体芯片制造的SF6尾气处理过程中，通过热分解、等离子体分解、催化分解等工艺，会产生氟化氢（HF）、二氧化硫（SO2）、氧氟化硫（SOF2）、二氧氟化硫（SO2F2）等副产物，部分工艺还会生成硫化...
