在半导体芯片制造的SF6尾气处理过程中，通过热分解、等离子体分解、催化分解等工艺，会产生氟化氢（HF）、二氧化硫（SO2）、氧氟化硫（SOF2）、二氧氟化硫（SO2F2）等副产物，部分工艺还会生成硫化...

SF6气体在高温、电弧等故障条件下分解产生的二氧化硫（SO2），对人体健康、生态环境及电力设备均存在显著危害。健康层面可引发呼吸道损伤、心肺疾病，长期暴露增加死亡风险；环境中会促成酸雨形成，破坏生态系...