半导体制造中SF6因高温室效应面临全球趋严的环保法规管控。欧盟F-Gas法规收紧使用配额并强制替代技术评估，美国EPA强化排放监测与碳交易挂钩，中国将SF6回收纳入自愿减排交易并试点总量控制。同时SE...
