全球半导体行业SF6环保替代技术专利申请呈快速增长态势，核心集中于低GWP替代气体研发、SF6回收再利用系统优化及工艺减量化三大方向。国际巨头IBM、台积电及国内中芯国际、华虹集团为主要申请人，中国近...
