SF6气体处理涵盖回收净化、分解销毁等环节：回收净化时会产生固体颗粒物、废吸附剂、精馏馏分及水解生成的HF、SO2等酸性副产物；分解销毁通过高温、等离子体等工艺生成HF、SO2、S2F10等气态副产物...
