不同类型SF6电气设备的微水含量限值存在明确差异：GIS（气体绝缘金属封闭开关设备）交接试验阶段微水含量需≤150μL/L，运行阶段允许≤200μL/L；SF6断路器交接试验≤150μL/L，运行阶段≤300μL/L；电流互感器、电压互感器等设备运行阶段微水限值为≤200μL/L。当微水含量超出对应限值的10%以内时，属于轻度超标，绝缘风险较低；超出限值20%-50%为中度超标，需密切监测；超出限值50%以上或伴随局部放电、绝缘击穿征兆时，属于重度超标，存在严重安全隐患。
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