六氟化硫因本底浓度极低、化学性质稳定、检测灵敏度高、安全性好且环境影响可控，成为大气示踪技术中优势突出的人工示踪剂。
六氟化硫变压器占地小、防火好、维护少，但成本高、有环境风险；油浸式成本低、回收成熟，适户外大容量，各有适用场景。
六氟化硫因绝缘灭弧能力强、化学惰性好、适配GIS结构设计，综合性能优势显著，目前仍是GIS全封闭组合电器的主导绝缘灭弧介质。
六氟化硫是惰性气体，生物安全性高，主要用于超声造影，可清晰显示病灶血管分布，也用于眼科手术，未来还可能用于肿瘤靶向治疗。
六氟化硫是微电子领域常用干法蚀刻剂，其等离子体分解出活性氟自由基与硅基材料反应生成挥发性产物，SF?离子可提升速率并实现高精度各向异性蚀刻，选择比高，应用关键。
常温常压均匀电场下，六氟化硫绝缘强度约为空气的2.5至3倍，其正八面体结构和氟原子电负性是关键，且该数值受压力、电场均匀度等影响。
