六氟化硫气体泄漏检测有包扎法（成本低但周期长、误差大）、红外成像法（效率高但受环境影响、成本高）、激光检测法（灵敏度高但成本高、效率低），实际常结合使用。

六氟化硫泄漏常见于法兰连接（超六成）、焊缝（约两成）、阀门接头及操动机构动密封，绝缘盆子和电缆终端引出密封等部位也需注意。

六氟化硫设备用3A分子筛选择性吸附水分，13X分子筛或复配吸附剂控制分解物，规范活化装填，改性分子筛可提升吸附容量，保障设备安全运行。

设备安装检修中，拆封未防护、吹扫预处理不规范、吸附剂装填密封疏漏、试压试漏操作不当会造成水分杂质侵入气室。

六氟化硫中固体杂质是绝缘故障隐形诱因，导电杂质降低击穿电压，非导电杂质引发沿面闪络，形成恶性循环，管控其已成为保障绝缘可靠性核心环节。

六氟化硫微水含量是电力设备安全核心指标，常用露点法、电解法、阻容法测量，原理各异，分别适用于高精度、在线监测和现场快速检测场景。

六氟化硫电气设备交接试验中，气体微水含量是核心指标，有电弧分解隔室不大于150μL/L，无则不大于250μL/L，且需高于运行阶段标准。

六氟化硫断路器与GIS设备微水过高，新设备多因出厂装配、气体质量问题，在役设备主要因密封老化、吸附剂失效及检修维护不当等。

六氟化硫气体水分超标会降低设备绝缘性能、生成强腐蚀性有毒产物、加速设备老化，威胁设备和电网运行及人员安全。

国标GB/T12022规定工业六氟化硫分优等品和一等品，优等品纯度≥99.90%、一等品≥99.80%，并明确空气、四氟化碳、水分等杂质限量及毒性要求。